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MEGAGEN系列COM-VD

德國ANSEROS安索羅斯臭氧發(fā)生器MEGAGEN系列COM-VD在半導(dǎo)體加工等方面發(fā)揮重大作用。

特 點
適用于電子元件臭氧清洗,晶圓清洗
ANSEROS安索羅斯臭氧發(fā)生器圖片
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MEGAGEN系列COM-VD產(chǎn)品詳情

MEGAGEN系列COM-VD技術(shù)參數(shù)

類型單位COM-VD-08COM-VD-16COM-VD-24
臭氧容量g O3/h60120180
最大臭氧濃度g O3/Nm3300300300
最小臭氧濃度g O3/Nm3150150150
臭氧氣體壓力輸出bar (g)<2.9
最小氧氣消耗量Nm3/h0,20,40,6
電功率kW0,61,21,8
電源VAC /Hz230/50-60/1 phase
能效kWh/kg O3101010
AOPR評級,
動力
kg O3/(bar *h* m3H2O)10 ... 500
冷卻液,目標(biāo)溫度m3 /h283 K0,10,20,3
外形尺寸mm高280*寬562*長603 mm
標(biāo)準(zhǔn)重量kg415062

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