臺(tái)式掃描電子顯微鏡ZME 20采用更加寬泛的加速電壓，1KV步進(jìn)，換樣時(shí)間僅需30秒，最大放大36萬(wàn)倍，分辨率5nm@20kV。標(biāo)配減速模式，滿足弱導(dǎo)電樣品不噴金直接觀察、電子束敏感樣品無(wú)損觀察的要求。
產(chǎn)品特色
換樣時(shí)間僅需30s
超大樣品倉(cāng)185*176*125（長(zhǎng)*寬*高）mm
1-60Pa 低真空模式選配
10kV樣品臺(tái)高壓減速選配
增加樣品倉(cāng)內(nèi)攝像頭，可實(shí)時(shí)觀察樣品倉(cāng)內(nèi)情況
軟件升級(jí)自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、大圖拼接等功能模塊
槍頭一直維持5*10-5pa真空，大大提高鎢燈絲使用壽，同時(shí)可選配LaB6燈絲
五軸中心樣品臺(tái)選配
豐富的原位擴(kuò)展接口，可搭配拉伸臺(tái)、加熱臺(tái)、TEC冷臺(tái)、納米壓痕等原位產(chǎn)品
支持寄樣測(cè)試
應(yīng)用案例
臺(tái)式掃描電子顯微鏡ZEM 20廣泛運(yùn)用在電子半導(dǎo)體/工業(yè)檢測(cè)、功能無(wú)機(jī)材料/化工、科研教學(xué)/生命科學(xué)、新能源材料等行業(yè)。
部分客戶
臺(tái)式掃描電子顯微鏡臺(tái)式掃描電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | ZEM 20臺(tái)式掃描電子顯微鏡 |
| 環(huán)境要求 | AC 220V,50Hz，1kW,無(wú)需減震臺(tái) |
| 加速電壓 | 3kV~18kV連續(xù)可調(diào),1kV步進(jìn) |
| 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲，一體式聚光鏡，無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)物鏡光闌，可選配LaB6燈絲 |
| 放大倍數(shù) | 25~360000倍 |
| 探測(cè)器 | 四分割背散射電子探測(cè)器、二次電子探測(cè)器、集成式能譜儀(選配) |
| 樣品臺(tái)行程 | 三軸:X:60mm，Y:60mm，T:±45° 五軸(選配):X:90mm,Y:50mm,2:25mm,R:360°,T:-10°-90° |
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