生產(chǎn)太陽能電池時，晶片要虛線蝕刻干凈，或者清除掉一個特定的晶圓層。因此，潤濕劑，多數(shù)用異丙醇(IPA)，會被加到蝕刻劑溶液中以降低表面張力。工藝過程的問題是：蝕刻過程的對流會引起異丙醇的快速蒸發(fā)，蝕刻劑的表面張力增加，蝕刻工藝的質(zhì)量降低。因此，為了將蝕刻劑中異丙醇的濃度控制在規(guī)定范圍內(nèi)，就必須監(jiān)測動態(tài)表面張力以得知異丙醇的濃度。而靜態(tài)表面張力的測量法例如拉環(huán)法和吊片法對于這種在生產(chǎn)過程中分析不適用。

德國SITA公司的創(chuàng)新的氣泡壓力法表面張力儀由于可以精確、快速的測量動態(tài)表面張力，而幫助各領域的應用找到較佳的解決方案。在下圖中您可以看到動態(tài)表面張力和異丙醇濃度的關系。手持式表面張力儀SITA DynoTester+和在線表面張力系統(tǒng)SITA ST對監(jiān)測蝕刻劑來說是最合適的檢測設備。

SITA Dyno Tester 表面張力儀是靈活、輕便的可以輕松快速的測量蝕刻劑溶液表面張力的設備，無需任何專業(yè)操作經(jīng)驗。所得的測量數(shù)據(jù)可以與所需的值對比，得出異丙醇濃度是否還在規(guī)定范圍之內(nèi)。如果超出范圍，可以通過快速的額外增加劑量增加濃度解決問題。

動態(tài)表面張力與IPA濃度的關系

設備的USB端口可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X上，電腦也可以作為一個外接電源。SITA 動態(tài)表面張力儀對清洗池槽液中表面活性劑濃度的進行測量的較佳儀器。

在一些領域的應用中，我們需要對槽液表面活性劑濃度進行連續(xù)在線監(jiān)測，是影響蝕刻質(zhì)量的重要因素。SITA公司提供在線表面張力檢測系統(tǒng)SITA ST作為解決方案，它可以自動定時的測量清洗液的表面張力，自動將測得的表面張力數(shù)據(jù)與限定值作對比。因此我們可在異丙醇濃度超出限定值后，在短時間內(nèi)采取相關處理措施。而且，可節(jié)省監(jiān)測異丙醇濃度方面的人力資源。

德國SITA公司的表面張力儀可以可靠地監(jiān)測異丙醇濃度，達到高質(zhì)量的蝕刻工藝和避免異丙醇過量。